Air Water量产8英寸SiC on Si基板

飞扬紫百合

日本工业气体供应商Air Water公司（总部：大阪市中央区）2013年5月20日发布消息称，面向功率半导体及LED生产的衬底基板用途，开发出了最大可生产8英寸直径SiC on Si基板的技术，并建立了量产体制。该公司利用自主开发的VCE（Vacuum Chemical Epitaxy，真空化学外延）设备，在Si基板表面外延生长3C-SiC单晶薄膜。据介绍，如果在该衬底基板上进行GaN成膜，还能比较容易地获得高品质GaN基板。该公司同时还将销售已形成GaN薄膜的基板。

       2013年4月，Air Water的安昙野工厂建设完成，开始生产上述基板。提供的尺寸方面，SiC基板为2～8英寸，GaN基板为2～6英寸（如有需要也可提供8英寸产品）。生产能力方面，6英寸和8英寸产品均为2000片/月，2英寸产品为1.6万片/月。