[求助] maverick lot control ?

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theoneqq

发表于 2012-8-27 11:27:22 | 显示全部楼层 |阅读模式

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本帖最后由 theoneqq 于 2012-8-27 11:53 编辑

maverick lot control測試檢驗有一特殊項目是 MLC (maverick lot control)，請教：
(1) 可否有高手可詳述方法或提供相關資料？
(2) SBL (Statistical Bin Limit)，是否是去監控pass Bin的數據，再去篩選+/- 3 Sigma？
(3) 如何設定 MLC的上下界線 (spec)？ +/- 3 Sigma？+/- 4 Sigma？
(4) Xbar-R管制圖的使用時機為何？ex: 25片以上 wafers，每片取兩點數據，然後去做管制圖嗎？這樣是否會分析失真或錯誤？
TKS~

Control, sigma, 特殊

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