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[求助] maverick lot control ?

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发表于 2012-8-27 11:27:22 | 显示全部楼层 |阅读模式

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本帖最后由 theoneqq 于 2012-8-27 11:53 编辑

maverick lot control測試檢驗有一特殊項目是 MLC (maverick lot control),請教:
(1) 可否有高手可詳述方法或提供相關資料?
(2) SBL (Statistical Bin Limit),是否是去監控pass Bin的數據,再去篩選+/- 3 Sigma?
(3) 如何設定 MLC的上下界線 (spec)? +/- 3 Sigma?+/- 4 Sigma?
(4) Xbar-R管制圖的使用時機為何?ex: 25片以上 wafers,每片取兩點數據,然後去做管制圖嗎?這樣是否會分析失真或錯誤?
TKS~
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