什么是自对准工艺？

zhuyujun · 发表于 2012-8-20 17:18:02

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什么是自对准工艺？

pandafeeder · 发表于 2012-8-20 17:35:05

...大富人啊，自对准就是先做POLY，再做注入，这样注入的时候POLY可以作为阻挡层挡住注入，POLY下面的栅氧就不会被注入到了。

hapblade007 · 发表于 2012-8-24 11:12:19

自对准就是不用特殊的光罩，而是利用工艺中某些因素的特殊作用起到光罩的作用。

smileduty · 发表于 2012-8-24 16:02:26

回复 2# pandafeeder

但是还是会出现一点点横向扩散哈~~只不过侧壁的那个电容不如原来铝栅大哈~~~

xiaojunwen · 发表于 2012-9-7 15:56:48

栅漏栅源对准

zhanghanru · 发表于 2014-1-9 17:33:10

[讨论] 什么是自对准工艺？