二氧化硅-硅界面分凝的模型

allen_123 · 发表于 2012-6-12 19:25:43

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

我们要做一个在热氧化过程中二氧化硅和硅界面分凝现象的仿真，我使用Tcad的Athena工艺仿真器，通过diffuse工艺在掺杂衬底上氧化了一层二氧化硅，并提取了杂质的垂直分布。但是，问题是，我找不到关于界面分凝的模型，可以用来对仿真进行理论的分析。所以，请问有木有大神，可以给些指导，这个界面分凝的模型在哪可以找到？

xwave · 发表于 2012-7-16 21:38:53

这是Physical Design的范畴么？？

fkshan · 发表于 2013-1-4 23:13:46

貌似懂行的人不多啊

vgboy8866 · 发表于 2014-12-8 16:13:47

是啊，这个软件用的专业限定范围很小

qwerqwer1111 · 发表于 2016-3-25 13:45:28

我也在找segregation

二氧化硅-硅界面分凝的模型

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

相关帖子

浏览过的版块

站长推荐 /1