关于0.18um工艺中的un和Cox

carefreeboy · 发表于 2012-5-8 20:09:23

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关于0.18um工艺中的un和Cox，我在我的工艺库中发现un=0.034 我对此算出的un*Cox=3*10-6
到这里我已经觉得有问题了带入到后面的计算中果然实现难度特别大所以特此请教请大家帮我看看是什么地方错了我暂时认为是库里的un值有问题

sehilly · 发表于 2012-5-8 21:08:37

you may get your personal parameters by I-V curve fitting

raygo · 发表于 2012-5-16 00:41:36

un的长度单位貌似是cm不是m

carefreeboy · 发表于 2012-5-16 09:54:54

回复 3# raygo

是的我已经搞清楚了呵呵还是要感谢你的

semico_ljj · 发表于 2012-5-16 10:46:05

要知道参数的单位

xyyyhtld0 · 发表于 2012-5-16 10:50:24

能不能把你的正确结果说一下，呵呵，我不认为它是cm为单位的！

carefreeboy · 发表于 2012-5-16 16:03:17

回复 6# xyyyhtld0

工艺库里的都是国标我根据我的工艺库算出来的大概是0.0003

fishbone53 · 发表于 2012-5-16 18:41:48

工艺库里的是m^2/V/s

Eeking · 发表于 2012-8-7 15:54:26

请问下Cox是怎么算来的

l241025097 · 发表于 2012-8-7 16:05:25

简易手算的话用U0就好了~Un的模型很复杂~
工艺库里的单位都是国际标准~是可以用来带入计算的~如果你直接带入计算发现不对~那说明你带错参数了~
Cox=（3.9x真空介电常数）/tox~

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