MEMS Processing

xiaoniuren · 发表于 2012-4-15 12:49:36

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DRIE.ppt (8.13 MB, 下载次数: 280 )

mems_Integrating_MEMS_and_ICs.ppt (2.5 MB, 下载次数: 184 )

mems_LIGA.ppt (7 MB, 下载次数: 285 )

mems_su8.ppt (508 KB, 下载次数: 115 )

Wet_etching.ppt (4.3 MB, 下载次数: 172 )

xiaoniuren · 发表于 2012-4-15 12:53:33

本帖最后由 xiaoniuren 于 2012-4-15 12:55 编辑

many_shapes.rar (137.02 KB, 下载次数: 62 )

cross.rar (8.96 KB, 下载次数: 48 )

corner.rar (39.94 KB, 下载次数: 46 )

cantilevers.rar (43.53 KB, 下载次数: 46 )

circle.rar (7.9 KB, 下载次数: 49 )

cantilevers45.rar (36.54 KB, 下载次数: 43 )

yxren1 · 发表于 2012-4-28 11:47:17

好啊，我喜欢

jonathanxp · 发表于 2012-5-25 09:59:17

这个有点。。了吧，这么多份。。。。

yuchiukit · 发表于 2012-11-22 10:10:56

谢谢谢谢很需要

huhuking · 发表于 2012-11-27 09:35:29

好资料啊！！！

zhyu101 · 发表于 2014-6-24 20:33:35

楼主能不能介绍下，这么多！

optoelectronic · 发表于 2014-7-7 21:29:34

感谢xiaoniuren 楼主分享。

ralphtw · 发表于 2014-11-21 14:48:55

MEMS Processing

hhaahaha2 · 发表于 2017-1-29 17:26:53

thanks for your sharing

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