silvaco dev3D的问题

hothhx · 发表于 2012-4-6 20:08:47

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我用athena做了一个2D的SOI结构，想在dev3d里面把这个2D的结构拓展成3D。问题是用region语句只能把埋氧层在z方向拓展，栅氧却被忽略的，这是什么原因呢？（比如region id=1 mat="silicon oxide" z1=0 z2=0.6+$length）。是不是要再加其他的语句？

micm_nedi · 发表于 2014-5-14 09:28:36

回复 1# hothhx

是victory device？

gtimes · 发表于 2015-1-11 14:55:34

难得的好资料感谢！

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