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楼主: zhuyujun

[转贴] BCD工艺ESD注意的一些东东!用的拿去~~

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发表于 2012-9-4 18:19:15 | 显示全部楼层
准备去tapeout了,赶紧找点ESD的复习一下
发表于 2012-9-4 18:33:09 | 显示全部楼层
谢谢分享
发表于 2012-9-4 18:33:41 | 显示全部楼层
谢谢LZ无私的分享
发表于 2012-9-23 12:17:33 | 显示全部楼层
谢谢啊!顶!
发表于 2012-9-25 08:51:13 | 显示全部楼层
赞!thx
发表于 2012-9-25 15:32:29 | 显示全部楼层
居然已经没钱了
发表于 2012-10-10 16:59:26 | 显示全部楼层
感谢楼主的分享了,谢谢啊!
发表于 2012-10-16 15:23:29 | 显示全部楼层
谢谢分享錒
发表于 2012-10-17 16:04:37 | 显示全部楼层
本帖最后由 dabing 于 2012-10-17 16:44 编辑

”对于ggnmos,高压工艺中,drain端通常由hvnw和nplus组成,hvnw在有的工艺中也叫做drift region, 反正都是为了提高drain端耐压得,那么我们在做esd的时候,通常会拉大drain contact to gate之间的spacing,与此同时hvnw和nplus的面积也会增大,那么在这里可以单纯的增大hvnw的面积而不增大nplus,另外一种就是把hvnw和nplus的面积同时增大,那么后者会比前者的esd性能更好一些“
对于文章中提到的这点不敢苟同,对于采用LDMOS结构做的ESD,drain2gate的距离就很大,而且drain端是FOX,FOX的厚度非常厚,具体的厚度可以查阅,从而得到最大介质击穿电场强度,我相信,是远远大于你LDMOS器件的Vth1的,所以没有必要担心drain2gate的介质击穿
其次,采用这种单纯的ggnmo结构,vth1的电压一般会很高,所以esd测试的时候HBM就很难通过,所以单纯的增加drain的area是很难改善esd device的snapback特性的(前提条件是LDMOS的drain area已经满足ESD 泻放电流的要求),如果考虑电流流向(电流主要是水平流向,不涉及纵向电流)的话,单纯增加平行沟道方向的宽度是微乎其微的,增加正交与沟道方向的drain aera即diode横向面积是比较有效的,这个我没有做过实验,都只是分析,如果有什么不对,请指出,thanks
最近一直在为项目的esd困扰,希望与楼主可以做个朋友,我站短你我的联系方式
发表于 2012-10-18 17:25:49 | 显示全部楼层
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