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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › Analog/RF IC 设计 › Analog/RF IC 设计讨论 › 有 做MEMS 仿真的吗？
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查看: 3850|回复: 6

[讨论] 有 做MEMS 仿真的吗？

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liujunhit
发表于 2010-12-23 18:46:52 | 显示全部楼层 |阅读模式

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做MEMS 仿真用什么软件最好？
仿真, 软件, 最好

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lvyuze
发表于 2010-12-24 21:04:18 | 显示全部楼层
HFSS
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chaowei
发表于 2011-1-9 15:28:23 | 显示全部楼层
商业的有coventorware，mems pro， IntelliSuite 一般的有限元软件 有Ansys,  Comsol
做结构的电磁仿真用HFSS的多
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staric
发表于 2011-2-13 22:57:58 | 显示全部楼层
请问做mems的电路如何仿真？MEMS部分用宏模型来替代吗？
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molteza
发表于 2011-5-15 18:09:08 | 显示全部楼层
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mortezajon
发表于 2011-7-8 02:59:15 | 显示全部楼层
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yangxuan3108
发表于 2012-10-16 10:06:51 | 显示全部楼层
coventorware是一个MEMS集成设计的软件，它有系统级仿真和有限元仿真，并且可以设计工艺流程和画版图，还比较好用
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