silvaco做液态POCL3的扩散模拟

yyh2010 · 发表于 2010-1-8 16:13:28

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请教关于silvaco做液态三氯氧磷扩散模拟,因为过程中伴随通O2,不知道有谁了解

xin123 · 发表于 2010-4-25 19:22:21

期待牛人来解答

heimareed · 发表于 2012-1-9 23:20:37

同样求解。
貌似可以做。但是需要知道N2中携带POCl3的比例。
见论坛里面有人提过有文献的。正在寻找中……

heimareed@126.com

maochiayun · 发表于 2012-1-11 14:39:34

Using extract to get surface conc. / RS...etc.
and measure real wafer (RS).. to get your own calibration rule.

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