请问什么是EOT

mclarenfeng

在看High-k的review时看到的，The  use  of  poly-Si  gate  electrodes  on
high-K  has  brought  on  serious  additional
problems,  including high gate leakage, unable to
scale  down  EOT
大家帮帮忙

gcwen

EOT: Equivalent Oxide Thickness. 你copy的这段话更像是要解释PDE（poly depletion effect）现象。