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各位老师好,本人第一次走dmf的流程,有一些问题恳请各位前辈指点。
在按照运行DRC - 利用calibre.db文件运行dmf文件输出gds - 原layout输出gds - merge合并 - 输入到其他library,调用dummy fill的instance后布置到原有的layout中,重新进行DRC。
这样的流程后,发现在运行dmf的时候会报一个warning:Maximum result count of 1000 exceeded in DRC RruleCheck DUMAA(这个DUMAA可以是其他的层,很多层都有这个Maximum result count of 1000),然后就会导致最终重新DRC的时候仍会存在很多density问题,如下图所示,还有dummy 的GDS图像以及原有layout导出的GDS图像。
在作为instance input dummy后,仍存在大量密度问题
从图像中大概能看出,我认为可能是这个关于最大count为1000导致的warning,进而影响了无法正常进行dummy fill,最多只能放1000个dummy metal,自然会出density问题,该如何解决呢?是不是需要修改dmf文件?
下图为dummy metal和输出的GDS图像,本人是有点偏小白的,也是第一次走流程,但是也能很明显看出dummy metal 的GDS图像左侧是正常进行fill的,右侧貌似确实是因为达到最大1000无法正常fill,不然按理说应该和左侧相似才对?
生成的dummy metal的GDS图像
原有的导出的layout GDS图像
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