tsmc 40nm shrink 问题

zhangzch

现已知TSMC-40nm是在45nm工艺的基础上shrink(*0.9)得来的。



那么我现在在TSMC-40nm中画了一个最小finger length=40nm的管子，layout中poly是40nm。


那么在流片时，这个40nm的poly就会被shrink到36nm吗？

Folier

你说的关联帖子是我发的  具体这个40  还是45 我也回答不清楚  但是看job view   这个0.9不是简单的 “A”*0.9这么简单 ，    而是类似的线性方程如A*0.9+b 这种    或者多阶的方程，最后的poly不会是36   

zjiankui

需要TSMC流片的可以联系我，价格优势z980134

doghead

   

zhangzch 发表于 2025-2-19 13:35
poly不会shrink，这一点我是第一次听说，在design rule中还没看到过。

所以只有金属需要shrink吗？

这个在SMIC 55nm的design rule里面是有的，不知道tsmc有没有

zhangzch

   

doghead 发表于 2025-2-19 13:23
你查看目录应该有shrink单独列出来的，找不到也没关系，你可以只需要知道poly不会shrink
...

poly不会shrink，这一点我是第一次听说，在design rule中还没看到过。

所以只有金属需要shrink吗？

zhangzch

   

doghead 发表于 2025-2-19 13:23
你查看目录应该有shrink单独列出来的，找不到也没关系，你可以只需要知道poly不会shrink
...

shrink的内容主要在design rule的第六章里面。

doghead

   

zhangzch 发表于 2025-2-19 10:19
design rule里提到了poly的宽度需要>=40nm

你是指这个规则吗？

你查看目录应该有shrink单独列出来的，找不到也没关系，你可以只需要知道poly不会shrink

zhangzch

   

liamy2009 发表于 2025-2-19 11:59
前提是你最终流片是45nm还是40nm？

在mask tooling form这个流片前的文档中，显示是40nm的工艺。


但我看到整体芯片的长和宽都shrink(*0.9)了，那么岂不是poly也从40nm shrink到36nm了？

liamy2009

前提是你最终流片是45nm还是40nm？

zhangzch

   

doghead 发表于 2025-2-18 20:48
你可以看design rule，里面会写着poly的尺寸就是实际流片出来的尺寸

design rule里提到了poly的宽度需要>=40nm

你是指这个规则吗？
design rule里面东西太多了，之前没看到过你提到的这点。