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在问deep seek关于短沟道的问题时解答中提到:
- 绘制 Vth 随 L 变化的曲线。
- 如果曲线出现一个明显的“膝盖点”,在L小于某个值后Vth开始急剧下降,那么这个“膝盖点”对应的L就可以被认为是该工艺下的“短沟道”临界长度。
但是自己仿真(28nm)得到的曲线为:
(NMOS)L越小,Vth不是所说的急剧下降呀?是增大。
(PMOS)
在razavi中文版478页,VTH随L的减小而变小。 在EECS240 lecture中,随着L的增大,VTH是先上升,然后下降,其中有考虑到holo作用。 感觉都很矛盾。也不知道我仿真出来的有没有问题,故贴出我仿真的电路图(其实就是gmid时采用的电路):
求大家讨论解答,我的仿真曲线为什么是这样?是仿真错了还是因为什么效应?仿真出来Vth和L到底应该遵循什么规律?
感激不尽。
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