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最近在考虑SAR ADC单位电容的选取,看了网上的一些帖子,总结了以下内容。采用XFAB018工艺,计算出10bite、11bite、12bite的ADC所需的正方形MIM电容的最小尺寸,但是计算出的结果感觉很小,virtuoso里电容的最小尺寸都有2μm,求高手看看是不是我的计算有啥错误。XFAB的PDS文件中说明MIM电容cdmmh6的电容失配plegrom参数为0.32,单位是%μm,不知道这个%μm是不是代表百分之一μm?
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