请教请教，小工艺部分， x y方向drc rule不一样.....

ljh065216 · 发表于 2024-2-27 20:39:19

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请教请教，小工艺，layout时poly方向要竖着，调用时不能翻转， x y方向drc rule不一样，从工艺上看是什么原因？

zjwu508 · 发表于 2024-2-27 21:35:20

不同晶向的特性不一样

胡小辰 · 发表于 2024-2-28 13:12:21

对于fin的考虑

tea_whz · 发表于 2024-2-29 10:36:33

finFET工艺吧，finFET工艺wafer上的fin是沿X方向做好的，poly只能与fin垂直放置，你看原理图上的mos管参数都已经不是多少微米而是多少个fin的方式来给了。这种情况下X，Y的DRC rule肯定是不一样的

tea_whz · 发表于 2024-2-29 10:39:53

zjwu508 发表于 2024-2-27 21:35
不同晶向的特性不一样

晶向对器件特性会有影响，但是DRC rule更多考虑的是工艺加工的可行性和可靠性还有可控性，所以一般不会因为晶向不同而将XY的DRC rule设置不同。

lnxmj · 发表于 2024-3-10 21:36:06

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