最小格点问题

coolxun · 发表于 2023-11-26 18:30:46

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1. 为什么要设置最小格点？

2. 如果设置的最小格点小于设计规则要求的最小格点是否可行？（例如设置的是0.005，而DRC需要的是0.01）

fengrlove · 发表于 2023-11-26 20:20:09

1：制造的原因，
2：不可以

Brave_Mu · 发表于 2023-11-27 15:11:34

1.晶圆厂生产任何layer的掩膜版需要定位（而最小格点可能涉及最小分辨率）；
2.会产生很多off-grid的DRC问题，而且会产生“无法定位，从而无法生产”的严重问题。所以，要事先严格设置合适的最小格点

이지은 · 发表于 2023-11-27 17:27:47

你都知道叫最小格点了，肯定不行啊，为啥要去做DRC，就是因为要把你画的能制造出来，你不满足怎么造

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