影响芯片ESD能力的原因有哪些？

霍比特美凌格 · 发表于 2023-8-7 13:51:10

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我们做的一颗芯片，同样的ESD结构，同样的尺寸，同样的接法，两个相邻脚位一个能过6000一个4000都过不了

，就想问问影响ESD能力的原因还有那些？

wkp1992101 · 发表于 2023-8-7 14:46:48

我觉得你可能都不用找具体原因，先找不同。就盯着看看这两个pad有啥不同的地方。

mars0904 · 发表于 2023-8-7 14:47:33

看看内部电路结构是否不同导致的

fei_SH · 发表于 2023-8-7 15:02:24

管脚周围的版图，内部电路，相对VDD和GND的位置，肯定是不一样的。
4KV失效大概率是内部失效或者寄生通道失效。
6KV的失效可能是ESD管能力到了。
失效分析定位一下两个不同的样品就能看出来了。

霍比特美凌格 · 发表于 2023-8-15 10:56:04

fei_SH 发表于 2023-8-7 15:02
管脚周围的版图，内部电路，相对VDD和GND的位置，肯定是不一样的。
4KV失效大概率是内部失效或者寄生通道失 ...

请问如何做失效分析定位？

fei_SH · 发表于 2023-8-15 17:10:05

6KV和4KV失效的芯片先分析一下失效的IV是否一样，是否可以做EMMI，可以的话都去做一下EMMI定位就能看到亮点位置是否一样。可以能的话还可以去层，看看亮点下是什么类型的损伤。

霍比特美凌格 · 发表于 2023-8-16 15:12:16

fei_SH 发表于 2023-8-15 17:10
6KV和4KV失效的芯片先分析一下失效的IV是否一样，是否可以做EMMI，可以的话都去做一下EMMI定位就能看到亮点 ...

IV曲线正常。就是芯片恢复了，没法做thermal emmi

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