金属层slot的物理意义

Ethan.Zhu · 发表于 2023-4-3 16:03:16

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请问一下各位大佬，对于宽金属线，DRC会提示加slot。slot的物理意义是什么呢，是那块金属被掏空了嘛

怎么样放置slot会更好些呢，小而密，还是放一两个大的就可以呢

591954064 · 发表于 2023-4-3 16:53:30

宽金属线上的slot是为了减小电感而设计的，可以帮助减少信号传输中的高频噪声。更多的、小尺寸的slot会提供更好的效果，因为它们可以更均匀地分布在整条线的长度上，同时也可以提供更多的通道来减小电感。因此，建议在金属线上均匀分布较小的slot。

powerboy711 · 发表于 2023-4-3 17:30:29

由于电流的趋肤效应，对于宽金属布线需要做slot，一般情况是30~35um做一个，slot大小有对应的规则

522526tl · 发表于 2023-4-3 18:27:28

是为了避免大片金属加工或者高低温下热胀冷缩的应力造成褶皱、翘曲这些可靠性问题。

ZN0001 · 发表于 2023-4-3 18:32:30

电流沿着金属侧边走，温度升高就会翘曲，打slot可以使电流分布不那么集中

liu18662648735 · 发表于 2023-4-4 09:05:57

由于金属应力，对于特别宽面积特别大的金属来说，因为不同材料的金属热胀冷缩系数不同所以在生产或者工作过程中会不停的出现拉伸和收缩，就会导致金属被拉断或者褶皱，这样会将金属拉断，所以用slot留出一定的热胀冷缩的空间，缓解应力避免金属断路或者短路，一般不同的工艺对于slot的要求也不一样，design rule里有具体规则

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