TSMC N22工艺中金属层M0作用是啥

五九X改 · 发表于 2023-3-10 10:31:28

这层金属也没有和其他层的CO或VIA，而且M0~M9是算9M还是10M？

yaya0315 · 发表于 2023-3-10 10:31:29

metal stack中的*M是从M1开始算到TOP metal，不算M0，在T中更小的工艺中M0其实就是一层metal，但是也不能算在metal_stack

xazc_lhm · 发表于 2023-3-11 15:30:31

应该是类似于CT的的结构，但是又可以作为走线用VIA0（可能是其他名字）和M1相连，属于前道工艺，算是9M

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