关于N阱的疑问

彼月停云 · 发表于 2022-7-24 16:46:29

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想请问一下CMOS工艺制备过程中是如何区分矩形还是环形的？以N阱为例，比如某些rf的电阻就是整个在N阱里面，保护环则是只有一圈N阱，但是从表面上看感觉并不能很好的区分是矩形还是环形（比如在N+注入的时候）？实际制备是怎么区分的？

尤飞龙 · 发表于 2022-7-24 22:18:07

你设置一下LSW中display就可以，把图形设置成有填充图案的就能看出来了！

MrHlayout · 发表于 2022-7-25 10:22:54

把display N阱的图像换成填充就知道了，或者对着中心空白区域按T，看是否有N阱的层次

彼月停云 · 发表于 2022-7-25 17:00:48

尤飞龙发表于 2022-7-24 22:18
你设置一下LSW中display就可以，把图形设置成有填充图案的就能看出来了！

感谢！

彼月停云 · 发表于 2022-7-25 17:04:24

MrHlayout 发表于 2022-7-25 10:22
把display N阱的图像换成填充就知道了，或者对着中心空白区域按T，看是否有N阱的层次
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感谢！

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