MEMS 电容式加速度计求助

ytycool1 · 发表于 2022-5-7 11:10:10

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刚接触MEMS，求求大佬带带，最近用MEMS+搭了个单轴加速度计，但用simulink搭闭环一直找不到相关的资料，求助

mie9vj · 发表于 2022-5-7 14:06:01

可以看一下JSSC上关于MEMS反馈的实现

ytycool1 · 发表于 2022-5-7 19:53:16

mie9vj 发表于 2022-5-7 14:06
可以看一下JSSC上关于MEMS反馈的实现

好的好的谢谢大佬我去看看

cai240 · 发表于 2023-11-1 22:26:27

怎么下载MEMS+软件，有木有连接呢

xiaopeng123 · 发表于 2024-2-22 15:38:58

cai240 发表于 2023-11-1 22:26
怎么下载MEMS+软件，有木有连接呢

这个大家都苦于找不到相关的仿真软件。。。

xiaopeng123 · 发表于 2024-3-19 13:52:26

这篇提及了一部分搭环内容

robinsuper · 发表于 2024-4-22 13:36:39

学习了Design, Modelling, and Simulation analysis of a Single Axis ME

saeed_niknami · 发表于 2024-5-1 06:00:39

thank you

peterlin2010 · 发表于 2024-5-1 07:18:00

Mems 电容变化 DELTA SIGMA 这是如何测出微小电容?

一般CMOS 电容测量方法

1. 电容变化转频率

2. 电荷移转charge transfer : 充电在放电转换电荷为电压 . SAR ADC 转换电压

but mems .测出微小 Delta sigma => 好像送出 CLOCK ??

[求助] MEMS 电容式加速度计求助