国内MEMS代工

liu1442

西安励德微系统科技有限公司是一家专业提供MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）一体化解决方案的技术创新企业。公司建有标准化MEMS产线一条，涵盖深硅刻蚀、双面光刻、薄膜、清洗、键合和隐形划片等全产业链工艺设备和对应的测试能力，能够快速完成SOI、SOG、硅基以及聚合物等微器件的工艺开发、工艺验证和小批量生产工作，为众多科研院所、创新企业和高等院校提供了切实可行的定制化MEMS加工解决方案。

  业务范围

MEMS产品设计——方案制定——工艺开发——批量生产——封装测试

工艺平台

  1.深硅刻蚀系统

2.双面光刻机                 

3.磁控溅射台

    4.晶圆键合机               

    5.电子束蒸发系统              

    6.LPCVD

    7.PECVD

            

胶水封芯

        1. 提供半导体及MEMS工艺代工和工艺验证服务，工艺能力涵盖前后道所有工艺技术，主要包括：


（1）光刻：接近式光刻；
（2）薄膜制备：热氧化、PECVD
（3）金属薄膜沉积：E-beam、磁控溅射
（4）湿法腐蚀：KOH、 BOE/HF等
（5）干法刻蚀：RIE、DRIE
（6）键合：硅-玻璃、金属共晶、金属热压键合,临时键合
（7）减薄：Si、SiC、玻璃等材料的机械研磨减薄
（8）倒装焊：Au/Sn, Cu/Sn
（8）Wire Bonding
（9）皮秒激光加
价格从优，详情请咨询：李经理，qq：1393855060

Kevin66

good thanks

kofkoy2000

几寸工艺线？

Huan2016

6寸线吧

airjet

记号一下，微纳加工

水中山0428

厉害 6寸片