版图密度问题

纠结丶 · 发表于 2021-11-19 02:29:27

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为什么加了dummy之后金属层密度问题还是解决不掉呢，GT层的密度解决了就是金属层特别是顶层金属还出现一大堆报错？

489315174 · 发表于 2021-11-19 08:47:53

GT 的解决了，那能确定metal的dummy 都加进去里？有些工艺时前段dummy 与后段dummy 是分开的DRC rule 产生的。

纠结丶 · 发表于 2021-11-19 10:41:58

489315174 发表于 2021-11-19 08:47
GT 的解决了，那能确定metal的dummy 都加进去里？有些工艺时前段dummy 与后段dummy 是分开的DRC rule 产 ...

加完版图上能看到metal dummy层，这工艺也说是顶层金属和其他的要分开提，提完版图里也看到了就是还是有密度问题，要么就是没密度问题但是顶层金属提示离得太近。其他层都是一个密度问题，顶层的密度问题那里有几千个。加了几个M4-5层的大电容M4的密度问题解决了其他的还是达不到。
按理说不是自动加了dummy之后密度问题会解决吗？

maomao198477 · 发表于 2021-11-19 13:28:22

我猜你没有好好的看下rule

patrick0999 · 发表于 2021-11-19 13:51:49

Add dummy command file 找看看有沒有選項，看是不是設定的問題!

纠结丶 · 发表于 2021-11-19 19:00:46

谢谢大家，已解决

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