关于dummy TCD,FEOL dummy TCD，BEOL dummy TCD的问题

menghahameng · 发表于 2021-10-26 14:20:15

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想请问一下，既然TCD cell就是工艺校准用的了，那dummy TCD有什么作用呢，然后还看见了有FEOL dummy TCD和BEOL dummy TCD 的名词，查找资料感觉说的有点模糊，理解不清晰，想了解一下FEOL dummy TCD和BEOL dummy TCD是什么，有什么作用，还请大佬不吝赐教。

sugus86 · 发表于 2023-2-14 11:39:33

楼主搞清楚了吗？可以把你的答案贴上来吗

menghahameng · 发表于 2023-3-12 19:00:37

sugus86 发表于 2023-2-14 11:39
楼主搞清楚了吗？可以把你的答案贴上来吗

FEOL dummy TCD是OD和PO 的校准，BEOL dummy TCD是用于metal的校准。

sugus86 · 发表于 2023-3-20 11:32:42

menghahameng 发表于 2023-3-12 19:00
FEOL dummy TCD是OD和PO 的校准，BEOL dummy TCD是用于metal的校准。

谢谢！

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