工艺的多少纳米是由什么决定的？

雷LING · 发表于 2021-3-16 16:11:32

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比如22nm的工艺，为什么叫22nm，它由什么决定的？

zl1999 · 发表于 2021-3-16 16:21:23

特征尺寸啊

雷LING · 发表于 2021-3-16 16:33:19

zl1999 发表于 2021-3-16 16:21
特征尺寸啊

什么是特征尺寸？求教。

鲸落灬 · 发表于 2021-3-16 16:34:08

我理解是foundry工艺能做到的最小栅极宽度

greatao · 发表于 2021-3-16 17:04:30

沟道长度，也就是特征尺寸。

雷LING · 发表于 2021-3-16 17:18:51

greatao 发表于 2021-3-16 17:04
沟道长度，也就是特征尺寸。

沟道长度是不是和管子的L长度是一样的？

musclerush · 发表于 2021-3-16 19:13:41

一般是由光刻的波长决定的

jmf · 发表于 2021-3-16 20:25:21

最初特征尺寸是MOS的最小栅长L。但是随着等比例缩放失效，先进工艺的多少纳米是按照集成度去等效的了：比如与7nm工艺相比，随着工艺演进，集成度提高了一倍，那这就是5nm工艺。实际上是量不到7nm、5nm的。

greatao · 发表于 2021-3-19 13:40:55

雷LING 发表于 2021-3-16 17:18
沟道长度是不是和管子的L长度是一样的？

沟道长度明显比管子的L长度要小啊。

雷LING · 发表于 2021-3-23 09:49:02

greatao 发表于 2021-3-19 13:40
沟道长度明显比管子的L长度要小啊。

多谢解惑

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