衬底外延层

zgf85644958 · 发表于 2015-7-6 16:49:15

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在《模拟电路版图的艺术》书中写到，CMOS工艺的第一步是在衬底上生长一层清掺杂的P型外延层。我的问题是，为了节约成本，有些工艺直接在衬底上做器件，如果需要外延层，是要单独加费用吗？还是该费用一起算在wafer的的费用上的？

wangy233 · 发表于 2016-9-13 10:55:12

外延可以采用改变衬底的掺杂浓度，降低衬底的导通电阻

moqqcn · 发表于 2021-11-27 16:54:04

学到了

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