单个多晶硅覆盖一层metal1是什么器件？

kanikanixjj · 发表于 2015-3-10 10:08:52

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最近在研究数字SRAM的版图，发现有这样的器件，
BDP230E3XAH]U`GV5VUA_FB.png

多晶硅没有穿过有源区，多晶硅和metal1是相连的，都连到VSS，我的理解是这些是滤波电容，可是网表里面没有电容，而且这些器件有和没有都不影响LVS，
所以想请教下，这些器件具体是什么作用？谢谢！

zw5823035 · 发表于 2015-3-11 15:02:20

啥都没接的话。是dum可能性大点。小工艺要求方块（比如20x20）的密度要够。

SCHan · 发表于 2015-3-11 15:58:00

是DUMMY。确实不是电容，不过说实话，用来填空弥补密度问题的话，还是放decap比较好。这样poly是够了，diff密度能够吗……

[求助] 单个多晶硅覆盖一层metal1是什么器件？