在28nm工艺中，为什么要有一步栅置换工艺呢？

荣耀3C · 发表于 2014-9-28 14:41:24

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icfbicfb · 发表于 2014-9-28 23:31:23

英语叫啥，没研究过

bananawolf · 发表于 2014-9-29 09:21:29

cut poly
对吗？

xxmule · 发表于 2014-9-29 16:23:10

没听过唉， 28nm高大上的东西啊

在28nm工艺中，为什么要有一步栅置换工艺呢？
荣耀3C 发表于 2014-9-28 14:41

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snk88 · 发表于 2014-9-29 21:04:14

cut poly 是切断poly的，置换，，就没听说过

fuyibin · 发表于 2014-9-30 07:46:30

只知道gate first 和gate last的差别

kopzinc · 发表于 2014-9-30 09:21:43

回复 6# fuyibin

这是啥，求科普

qoo1625 · 发表于 2014-10-25 02:02:24

如果是cut的話就只是要縮小面積而已

JHX_SMICS · 发表于 2020-10-24 22:58:07

就是想问为啥先用poly多晶硅，后面再掏空然后填上metal gate 吧？就是前面楼上说的poly last.

[求助] 在28nm工艺中，为什么要有一步栅置换工艺呢？