csmcBCD05工艺

gao2004j · 发表于 2013-6-17 14:20:14

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

大家好！有谁知道csmcBCD05的工艺，在做LOCOS时，用的mask是怎么得来的？

谢谢！

beckdavid · 发表于 2013-6-17 14:44:00

不就是diffusion的mask吗

彤妍物语 · 发表于 2013-6-17 17:21:27

回复 2# beckdavid

这位童鞋，如果是diffusion，那场氧如何起隔离作用捏？

beckdavid · 发表于 2013-6-17 17:54:55

回复 3# 彤妍物语

我觉得您是不了解diffusion这层MASK是干什么的？
diffusion是第一层出的MASK，它的反版就是为了做场氧

lodestar6666 · 发表于 2013-6-17 18:24:35

ACTIVE 有源区
除了ACTIVE所在区域，其他都是场氧。
标准CMOS工艺流程里介绍的很清楚啊。

843071455 · 发表于 2013-6-17 18:40:25

回复 3# 彤妍物语

人家二楼说的没错啊！

zj3114122 · 发表于 2013-7-24 14:35:27

二楼很强大~

天涯123 · 发表于 2014-1-8 12:21:42

学习中，我是菜鸟！！

[求助] csmcBCD05工艺