smic18ee电容图层问题

wyjly · 发表于昨天 23:47

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这个smic电容他上下极都是用m6和via5的孔连接到下面的m5的吗，但是下面那一极m6跟m5之间有一层mim，这个mim的作用是什么欸，他那个via5的话不会把上下两极的m6都打到同一层m5嘛，所以有佬，有smic18ee的mim电容的刨面图嘛，这样可能更好理解这个过孔打到的位置和mim层作用

wanchengchen · 发表于 10 小时前

你看下截面图就理解了，M6通过VIA5连接到一个中间层，这个中间层是为了减少M6和M5的距离，增大电容。这个VIA5不会连接到M5。

wyjly · 发表于 8 小时前

wanchengchen 发表于 2025-12-25 09:43
你看下截面图就理解了，M6通过VIA5连接到一个中间层，这个中间层是为了减少M6和M5的距离，增大电容。这个VI ...

有截面图吗，可以发出来看看吗谢谢

wanchengchen · 发表于 7 小时前

刚才回错帖子了，尴尬

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