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silvaco TCAD 关于athena与atlas仿真方面的收敛问题

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发表于 2012-7-25 13:30:31 | 显示全部楼层 |阅读模式

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本帖最后由 xuhong1102 于 2012-7-25 13:50 编辑

大家好,最近在仿真一个触发管的例子,用athena模拟器件结构,atlas模拟电特性。其中结构模拟按照实际生产工艺进行,尤其是扩散等热过程;电性仿真中模型选择atlas使用手册第4章中的bipolar2模型,数值方法采用牛顿迭代法,扫描方式采用curvetrace。但是仿真过程中发现,只要稍微的改变一下扩散过程中的掺杂浓度,就会导致不收敛的问题;在调试过程中网格设置在结附近及基区已经设得相当密,目前不知道原因在哪里?请高手指点!!
 楼主| 发表于 2012-7-26 13:52:54 | 显示全部楼层




    这里附上杂质分布曲线图,该图与产品的SRP曲线相近
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 楼主| 发表于 2012-7-26 13:55:06 | 显示全部楼层
未命名.bmp
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