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ESD保护和防天线效应用的Diode是一样么?原理有什么区别?

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发表于 2011-9-11 10:01:03 | 显示全部楼层
怎么有人挖坟

ESD防护的是chip外部对内部的放电,往往能量比较高,所以ESD保护的面积大
antenna effect 是在晶圆制造过程中,很多步骤都会产生电荷,比如蚀刻,如果gate只是连接到一个大片的metal上,静电就会在metal上积累,从而造成gate损坏
所以加antenna diode对metal的面积有要求,小的metal可以不加,因此antenna diode常加在长导线上,或者IP的input pin
当然,可以通过metal 走线的设计来尽量避免antenna effect
gate 只接到大片metal上,从布线上看,就是gate和其它管子的S/D 连接的设计问题,
举个例子
gate 接到metal 1,然后metal1走长距离之后,通过metal2 和S/D相连,这样在制造到metal1这层时,就会有较大的antenna effect
但是如果是gate接到metal1,然后通过metal2走长距离之后,再与S/D相连,显然这样的设计风险会小些
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