有没有见过这些器件？

Liuchlch · 发表于 2021-3-15 14:21:52

这是一个器件，看连接应该是一个电容，但不是很确定。也没有做过这种工艺。这个里面的电阻（不清楚是不是poly电阻）介于M1和M2之间。想请教大家，做过这个工艺的大概是个什么工艺。另外里面还有些其他器件也不知道怎么识别。

Liuchlch · 发表于 2021-3-15 14:38:45

hitzhabc 发表于 2021-3-15 14:32
其实光从图形来看，这是三极管啊....

但是是两个端子

Liuchlch · 发表于 2021-3-15 15:04:49

hitzhabc 发表于 2021-3-15 14:49
如果是二极管连接方式的三极管呢？看下面的层次，光看金属判断不出来。
...

二极管连接方式的三极管？不是很懂，第一张图就是注入层，看着只有两个端子

Liuchlch · 发表于 2021-3-15 16:10:46

hitzhabc 发表于 2021-3-15 15:50
图有点难看，大致示意一下，可以是pnp也可以是npn，看工艺。横向三极管。B和C短接，就叫二极管接法的三极管 ...

但是整个版图里面所有的这个期间都是这样接的，所有的三极管都接成二极管，应该不会这样做吧。问了电路工程师他们也觉得应该不会全部的三极管来做二极管。这样也很浪费面积。另外这个应该是个锗硅工艺的器件

Liuchlch · 发表于 2021-3-15 16:14:14

zl1999 发表于 2021-3-15 16:09
能不能看一下其他金属层的情况，我看着也像是三极管

这个是M2金属层。

这是M1金属层顶层金属是M2。

这个是ST层。最外面那个矩形是槽。

Liuchlch · 发表于 2021-3-15 17:24:38

hitzhabc 发表于 2021-3-15 17:15
说起来确实不该都这样接。锗硅工艺我也不懂，抱歉。

刚刚看了下应该是二极管，因为都在PAD附近，应该是做ESD吧，猜测

Liuchlch · 发表于 2021-3-16 11:18:07

hitzhabc 发表于 2021-3-15 17:37
看图片是串联，有可能是齐纳二极管，电源钳位的。ESD的不知道这个尺寸多大，要是ESD，必须保证尺寸。而且 ...

不清楚，但是这些二极管全部在PAD附近，我自己理解可能是esd

Liuchlch · 发表于 2021-3-16 11:19:22

玖雨发表于 2021-3-15 23:01
我们之前项目遇到过这种器件，提成二极管。

是哪个工艺清楚吗？因为还有些其他器件没搞清楚，他们这个工艺有POLY层吗

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