请教下：宽条金属之间的间距rule为何要大一些？

wangji2036 · 发表于 2017-3-13 11:37:47

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在工艺厂的design rule中，一般两条窄金属之间的间距要求假设是0.3um，那么两条宽的金属（宽度大于10um）之间的间距要求会加大到0.35um。这个是什么原因呢？

18792691977 · 发表于 2017-3-13 15:16:32

同问同问

lzq11878 · 发表于 2017-3-29 11:14:08

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3512596 · 发表于 2017-5-3 16:29:47

刻蚀不足

[求助] 请教下：宽条金属之间的间距rule为何要大一些？