TSMC 28nm HPCP 工艺中的poly direction EW 和 NS 问题

FGX · 发表于 2019-6-28 09:58:48

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TSMC 28nm HPCP 工艺中的poly direction EW 和 NS 指什么意思? 会影响chip的布局吗？

lijie5992373 · 发表于 2019-6-28 15:14:16

EW, NS在哪份文件中看到的，这么多缩写，谁能想起来

yulizi · 发表于 2019-6-30 11:06:43

East West
North South

FGX · 发表于 2019-7-1 11:06:38

本帖最后由 FGX 于 2019-7-1 18:03 编辑

yulizi 发表于 2019-6-30 11:06
East West
North South

感谢回答，继续请教一下，具体是指什么吗？是硅的晶向? 如果说是东西（EW）& 南北（NS）感觉也不太对啊。请不吝赐教。

silentC · 发表于 2019-7-1 15:59:49

之前没听过ES NS的叫法，个人感觉就是一个纵向一个横向的意思，28nm以及以下工艺通常要保持poly方向的一致性（尤其是mem和flash），一般是同一方向的。

FGX · 发表于 2019-7-1 18:00:35

silentC 发表于 2019-7-1 15:59
之前没听过ES NS的叫法，个人感觉就是一个纵向一个横向的意思，28nm以及以下工艺通常要保持poly方向的一致 ...

谢谢回复~ 但是我不太明白poly 方向性是指什么呢？晶向?

silentC · 发表于 2019-7-2 11:30:32

FGX 发表于 2019-7-1 18:00
谢谢回复~ 但是我不太明白poly 方向性是指什么呢？晶向?

你打开个管子的layout版图就明白了。poly方向就是poly是横着跨OD，还是纵向跨OD

FGX · 发表于 2019-7-15 14:15:59

silentC 发表于 2019-7-2 11:30
你打开个管子的layout版图就明白了。poly方向就是poly是横着跨OD，还是纵向跨OD
...

感谢。我看了管子明白了。之前走进了晶向的误区。

sunil4u · 发表于 2019-10-13 00:47:26

Can you share pdk?

xunge · 发表于 2021-1-20 14:22:33

楼主pdk可否分享一份呢，谢谢

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