求助sentaurus TCAD中的profile语句

xuhong1102 · 发表于 2019-5-29 11:24:05

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各位大侠，本人咨询一下sentaurus TCAD中的profile语句。目前在仿真process时需要导入掺杂文件，选用profile语句，如：profile name=boron infile=Doping_Boron.txt 。但仿真结果一直忽略了这一语句，单独拿出来模拟后发现是无法读取Doping_Boron，我不知道哪里出错了，是不是需要在前面定义一下该文件，一开始我只是将该文件防置在仿真目录下，以为模拟时能自动启动，现在的出错让我毫无头绪，希望有懂的人能指点一二，谢谢！

yuyang1260 · 发表于 2019-5-30 13:21:45

sprocess manual 翻一翻

xuhong1102 · 发表于 2019-5-30 15:32:30

yuyang1260 发表于 2019-5-30 13:21
sprocess manual 翻一翻

翻过了，没头绪，能否给个提示或示例，万分感谢！

yuyang1260 · 发表于 2019-5-31 16:31:40

xuhong1102 发表于 2019-5-30 15:32
翻过了，没头绪，能否给个提示或示例，万分感谢！

1000多页的手册，仔细翻一下。我好久不搞了，身边没手册

alhoceima111 · 发表于 2019-6-8 17:17:55

?????????????

千山万水0801 · 发表于 2020-3-20 18:23:55

你的杂质文件不对，sentaurus杂质轮廓导入.plx文件（or file.dat or utmar.bor）。
profile name=Boron infile=1d.plx mask=complex

你看看你杂质文件的来源是不是有问题

[求助] 求助sentaurus TCAD中的profile语句

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