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[求助] 110nm以下各公司BEOL clean的情況

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发表于 2018-12-4 22:28:06 | 显示全部楼层 |阅读模式

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如題目前在評估各家BEOL的WET clean所需chemical
一般來說都是用ST250 or EKC
但這兩個cost說真的偏高,最近在找2nd
請問有先進能分享各廠110nm~40nm BEOL 在用的WET chemical嗎? 感謝~
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