请教大家mems传感器，或者是mems麦克风里面会用到什么样的芯片

蓝风紫心 · 发表于 2015-10-27 11:18:27

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请教大家mems传感器，或者是mems麦克风里面会用到什么样的芯片，这个mems是芯片设计领域吗？
这里会用到模拟版图设计吗？
其实对这个领域不是很了解，就是想请了解的人科普下，做版图适合做这个mems吗？这里面能用到我们正常的版图设计
所设计出来的芯片吗？

DOONPENG007 · 发表于 2015-10-28 19:06:49

MEMS sensor=sensor+ASIC（信号处理）

ljl86400 · 发表于 2015-12-2 18:55:22

画版图很简单，MEMS的版图基本上不需要什么深入的知识基础，只要会用L-Edit，能将MEMS设计的思想体现在版图上就行了。用起来跟CAD画图一样，电路画版图还需要一些信号干扰、匹配之类的知识基础，MEMS版图不需要，MEMS在设计的时候就已经都解决好了。
MEMS MIC里面一个硅麦克风，一个ASIC。硅麦克风现在主流的类型是电容式的，一块固定的BACKPLATE,一块可动的diaphragm，组成可动电容。
ASIC 负责将MEMS的电信号放大输出，某些MIC的PCB板里面还会做一些埋容、埋阻的工艺。
MIC的原理很简单，工艺也相对简单，没有太多的内容。
基础知识声学、材料力学、集成电路、微电子工艺、封装工艺就差不多了。

黑羽盗一 · 发表于 2016-12-5 21:35:01

顶一个！

icetools · 发表于 2018-1-6 14:46:41

回复 3# ljl86400

先在MIC的 MEMS是采用CMOS工艺吗？歌尔都推出数字MIC，是两个芯片叠封的吗？还是采用CSV工艺？一直多MEMS工艺（器件）感觉很神秘，MEMS代工厂生产列如MIC，感觉工艺都需要设计去调整，而不是标准单元库类型。MIC后面处理电路反而都是一个sigma-delta ADC 做MIC处理

ljl86400 · 发表于 2020-7-8 23:30:41

本帖最后由 ljl86400 于 2020-7-9 22:24 编辑

icetools 发表于 2018-1-6 14:46
回复 3# ljl86400

1】懂偏微分方程+相关物理基础
2】定量分析要求你会点数值分析的知识
3】编程或者有限元软件会一个
4】电路分析（动态的）+模拟CMOS的基础
5】微电子工艺，你会在跟代工厂对接的过程中逐渐了解

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