请教个问题，我们说的前道和后道尺寸分别指什么

ZMOS · 发表于 2015-8-12 17:01:03

回复 7# hwynhh@163.com

應該說是指特徵尺寸，指半导体器件中的最小尺寸。最小的尺寸即是线条的最小宽度，线宽其实是作为栅极的多晶硅的宽度，也就是晶体管的沟道长度。所以說front end & back end中尺寸均是指MOS管的溝道長度L。希望對你有用。

hwynhh@163.com · 发表于 2015-8-14 15:30:12

回复 10# mangoch

谢谢解惑

hwynhh@163.com · 发表于 2015-8-14 15:32:03

回复 11# ZMOS

谢谢回答，刚刚看了楼上和你的回答。好像有一点不一样之处，迷惑了

jimipage · 发表于 2019-7-24 21:20:53

hwynhh@163.com 发表于 2015-8-14 15:32
回复 11# ZMOS

ZMOS的是错误的

Miya.huang · 发表于 2019-7-29 14:33:57

是 L

Miya.huang · 发表于 2019-8-1 10:27:42

是的，不过不同的工艺数据应该不一样吧

[求助] 请教个问题，我们说的前道和后道尺寸分别指什么