咨询Silvaco中工艺仿真的z方向问题

fjlanx2 · 发表于 2015-4-26 17:18:02

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x

在Silvaco中，使用Athena进行工艺仿真时，我们都只定义x，y两个方向的网格，z反向的都没有定义，我想知道z方向的默认尺寸是多少？可以改变吗？

tianyan_chn · 发表于 2015-5-11 15:56:25

默认是1μm，当然可以通过z.mesh来改变

fjlanx2 · 发表于 2015-5-14 20:14:47

回复 2# tianyan_chn

谢谢，再请问一下，工艺仿真时，有办法设置成三维的吗？例如下面的，有line z这个参数吗？

line
x
location=x1 spacing=s1

line x location=x2 spacing=s2

line y location=y1 spacing=s3

line y location=y2 spacing=s4

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