关于5vMOS做ESD的相关问题

fanny-yan · 发表于 2015-2-5 22:33:41

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本帖最后由 fanny-yan 于 2015-2-5 22:35 编辑

最近在做TOP，连接Pad的ESD用的是5vMOS管做的，我师父让我把管子做了修改，在gate和drain之间的区域用RPO（Resistance Protect Oxide）层覆盖，不太清楚这样做的具体目的是什么，求高手指点……

IOT_chuanshuo · 发表于 2015-2-6 09:23:20

工艺上增大区间的阻值，保护管子的作用，防止电流过大击穿

winsm · 发表于 2015-2-6 13:31:54

SAB层，防金属化工艺。

fanny-yan · 发表于 2015-2-7 17:21:38

回复 2# IOT_chuanshuo
做ESD的，防止电流过大倒是对的。那这个层是什么材料呢？不太明白怎么改变阻值的？

fanny-yan · 发表于 2015-2-7 17:23:43

回复 3# winsm
不好意思本人新手，不太明白SAB层是指的什么？

IOT_chuanshuo · 发表于 2015-2-9 09:24:10

回复 4# fanny-yan

一般工艺制造过程，都会在poly和diff上生长金属硅化物之类的物质来减小阻值，叫salicide，你可以查查这个salicide和polycide。那个层次可以阻挡金属硅化物的生成，从而加大阻值。

hwynhh@163.com · 发表于 2015-2-9 17:11:46

学习了

fanny-yan · 发表于 2015-2-10 22:46:40

回复 6# IOT_chuanshuo

明白了明白了，非常感谢

！

ksg12 · 发表于 2015-3-13 08:59:27

非常正确，。。。

lianaissmec · 发表于 2015-3-18 16:03:50

台湾的柯教授有一篇关于ESD的文章上面写得很详细，自己去查一查

[求助] 关于5vMOS做ESD的相关问题

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