弱弱的问一句：TSMC 的VIAEXCL layer 是什么？

ShiningShining · 发表于 2014-8-1 09:30:28

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

求教：如题，TSMC 的VIAEXCL layer 是什么？

Rucas · 发表于 2014-8-1 10:27:17

没用过TSMC的工艺，你可以查F提供的文档啊，应该有介绍的。

ewavesam · 发表于 2014-8-1 10:39:49

如果我没记错，这种layer是不让via跑DFM

icfbicfb · 发表于 2014-8-1 10:52:43

dummy via blockage ，在40nm 下才有，

以前65nm的时候是DMEXCLU，即dummy metal exclusion area ，

40nm以下，连dummy via也要加了，因此需要一些dummy via exclusion layer，

939903347 · 发表于 2014-8-1 11:41:57

4楼正解。

ShiningShining · 发表于 2014-8-1 11:50:51

回复 3# ewavesam

对LVS有影响吗？

ShiningShining · 发表于 2014-8-1 11:52:16

回复 4# icfbicfb

我用的tsmc18rf, 是不是就不需要加这个layer?

939903347 · 发表于 2014-8-1 12:09:27

一般來說dummy都是工具撒出来的，在你不想撒dummy的地方盖DMEXCLU或Dummy via，dummy via 是可以造成短路的，但是不同于一般的VIA，会有包金属，Dummy Via只是孔，没有金属，不过一般在相邻两层金属之间才会撒出来dummy via。一般不手动补Dummy via，就不太可可能影响LVS，除非在不同底层分别撒dummy，然后你又在底层Block上面走线。

icfbicfb · 发表于 2014-8-1 13:44:46

ignore吧，。18um肯定不加dummy via的，不用画

ShiningShining · 发表于 2014-8-1 14:45:31

回复 8# 939903347

说的很详细，谢谢你~

[求助] 弱弱的问一句：TSMC 的VIAEXCL layer 是什么？

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

相关帖子

点评

站长推荐 /2