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[资料] 硅谐振器

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发表于 2013-10-6 23:28:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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硅谐振器已经商业化了,出现在了一些集成器件上了。

High-Q Integrated CMOS-MEMS Resonators with.pdf

1.18 MB, 下载次数: 132 , 下载积分: 资产 -2 信元, 下载支出 2 信元

QUASI-LINEAR FREQUENCY TUNING for cmos mems resonators.pdf

2.94 MB, 下载次数: 94 , 下载积分: 资产 -2 信元, 下载支出 2 信元

CMOS MEMS Oscillator for Gas Chemical Detection.pdf

2.48 MB, 下载次数: 84 , 下载积分: 资产 -2 信元, 下载支出 2 信元

发表于 2013-10-9 04:28:52 | 显示全部楼层
學習了!!
发表于 2013-10-26 01:32:52 | 显示全部楼层
學習了!!
发表于 2014-1-19 15:51:42 | 显示全部楼层
学习学习
发表于 2014-1-20 13:01:46 | 显示全部楼层
红外光谱仪长光程气体池的研究
 楼主| 发表于 2014-1-22 15:45:29 | 显示全部楼层
回复 5# tuzhi2335


    你对红外光声感兴趣?以前做过一点,或者说是了解一点。欢迎交流。
发表于 2014-2-12 23:55:56 | 显示全部楼层
謝謝 ~~~
发表于 2014-2-13 05:52:27 | 显示全部楼层




    红外光声指的就是PA(photoacoustic)气体检测么?kofkoy2000兄做过的是硅MEMS感测压强+激光干涉读取位移的原理吗?有没有用别的传感器或其它读取方式做的?很想了解一下。
发表于 2018-3-6 03:12:39 | 显示全部楼层
非常感謝~~~~
发表于 2018-11-23 13:57:46 | 显示全部楼层
下来学习一下
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