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Invensense是近年来MEMS行业的一个新星,公司的CEO创始人Steve Nasiri采用所谓的“Nasiri fabrication”方法,并找到TSMC合作代工,采用CMOS工艺来制造惯性器件。
我认为这是MEMS发展的一个很重要的方向。fabless design house+foundry模式能够推动MEMS的发展。除此以外,一些实力雄厚的大公司可以自己玩玩,不过很可能大部分都早晚死在这些小的后起小公司手上。回头去看看日本在鼎盛时期的那些半导体公司就可以得出这个结论了。
论文不太全,参考一二。日后再补上。 |
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Development-of-High-Performance-High-Volume-Consumer-MEMS-Gyroscopes.pdf
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InvenSense_MotionProcessing_MPUApps_WhitePaper.pdf
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nasiri-interview-partner-with-design-company.pdf
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US7934423.pdf
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US8047075.pdf
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