CZ6H+工艺关于DRC问题

sunny_yangfeng · 发表于 2013-8-28 11:30:00

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本帖最后由 sunny_yangfeng 于 2013-8-28 11:33 编辑

请问华虹CZ6H+工艺中DRC runset文件如图中红框内的文件ebslit是做何种检查用的？ QQ截图20130828113355.png

damonzhao · 发表于 2013-8-28 12:39:34

打开rule文件看看呗

sunny_yangfeng · 发表于 2013-8-28 19:54:40

回复 2# damonzhao

打开看里面就是一些layer的width、space的要求，如图1，而对里面文件的描述对于ebslit也就是做DRC检查，如图2

damonzhao · 发表于 2013-8-29 09:01:24

rule的开头都有根据哪个文档写的的描述，你可以读一下那文档，估计就知道rule关心的是那些检查项。

验证时把相关的rule都跑一下，确保安全。

sunny_yangfeng · 发表于 2013-8-29 10:47:03

回复 4# damonzhao

就是没有那个文档，想在此问一下有没有用过这个工艺的大侠，呵呵还是谢谢版主哦！

damonzhao · 发表于 2013-8-29 10:54:27

回复 5# sunny_yangfeng

没有文档就管foundry要

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