关于triming中电阻阻值的问题

jiang_shuguo

triming中用的fuse是次顶层金属，用电流方式烧断fuse，那么与该fuse并联的电阻的阻值是大好还是小点好。该电阻过大过小会有问题么？
我认为从烧断fuse的难易来看是这个并联电阻越大越好。希望高手指点。

jiang_shuguo

没人谈谈这个问题或者指导下么？

jiang_shuguo

目前的疑问是该电阻过大会有什么问题。

hszgl

之前没有关注过用fuse做triming，简单说下我的愚见。
fuse要烧断应该是流过的电流达到一定水平，fuse的阻值一定。电压达到阈值无论并联的电阻多大都能烧断。只是并联的电阻太小自身流过的电流可能太大导致烧断，但应该不影响fuse。
而电阻大的时候，我认为fuse不断就相当于短路，应该不存在影响。

jiang_shuguo

谢谢参与，据说电阻太大会有问题，如产品cp过程triming。

feel100

太 大 是会 有问题 的，fuse烧断后表现出来的电阻并 不 是无穷大 的 。
CP时需要经常清理探针。

jiang_shuguo

回复 6# feel100


   我理解fuse烧断后的阻抗应该是无穷大，而阻抗有限应该是因为fuse烧断后又有部分熔回去了，也可以认为是藕断丝连。所以有较大的阻抗。

jiang_shuguo

回复 6# feel100


   能问下cp时候经常清理探针，做什么用？ 保证fuse每次都能彻底烧断应该是很困难。

jeff_zx

回复 1# jiang_shuguo

   
    据我的理解，trimming应该有两种，一种是产生一个0和1的逻辑信号用，这种结合内部判断逻辑电路，对fuse熔断的要求会很低。
一种是直接调整电阻阻值，由于直接与电阻并联对熔断的要求会比较高。但金属fuse如果有fab提供相关的测试参数或者design rule，应该是没有太大问题的。金属fuse熔断的良率主要还是看实际工艺中开窗能否去干净n-1层metal表面的oxside和需要加的电参数。
但实际cp时也有问题，测试不稳定，接触不良，第一次没有彻底烧断，不管是metal还是poly fuse，不可能在重新加电二次烧，因为第一次烧不断，fuse就变成高阻了。如果这时并联的电阻很大，这个die可能就fail了。

cp过程中清针是测试机探针台自动的功能，因为探针测试一段时间就会氧化，导致接触不良。所以需要自动清洗一下。

jiang_shuguo

回复 9# jeff_zx


    我了解对于poly fuse 是第一次烧不断，会变高阻态，又因为poly fuse 是电压熔断，所以对于poly fuse 若第一次融不断，就不可能再熔断了。但是metal fuse 是不会变高阻态的。而且是电流熔断方式。