怎么调整layout使得nmos的sca scb scc 等WPE参数变小

nool · 发表于 2013-4-27 10:59:17

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allen_tang · 发表于 2013-4-27 11:55:46

本帖最后由 allen_tang 于 2013-4-27 12:16 编辑

这几个参数好像跟diffusion或者poly到well边沿的距离有关吧，
没接触过65nm以下的制程，不过资料上都是说避免WPE就要增大well到diffusion的距离，或者多加点dummy，还能减少STI应力(mos的diffusion还要共用)。。。不过没有具体的量化数据。

nool · 发表于 2013-4-27 13:08:41

I've tried these methods, none make sense.
STI is much depends on the OD length.
It's 28nm process.

cxl666 · 发表于 2013-5-3 13:10:11

[quote]I've tried these methods, none make sense.
STI is much depends on the OD length.
It's 28nm process ...
nool 发表于 2013-4-27 13:08 [/quote]

找了两个文档，看看吧。