MEMS电容加速度计的电学模型

hope斐 · 发表于 2012-9-11 16:41:01

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我已完成开环模式下MEMS电容加速度计的电学模型，大致如下：

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7 分钟前

现在闭环模式下的电学模型不知道如何建立。目前，对于我现在的这个模型，要想实现闭环的反馈效果，反馈电压只能反馈到加速度的输入端，与加速度求和。现在如果要想实现把反馈电压反馈到上下极板，即top或者bot极板，或者反馈到中央极板，即ctr极板，这个模型貌似是没办法实现，各位高手有做这个的吗？一起交流下吧，或者，也可以提供点建议！

NoTCsmile · 发表于 2012-9-12 22:13:27

......

lchicken · 发表于 2012-9-13 16:34:31

回复 1# hope斐
您好，我与您做的东西相类似，咱们可以好好交流一下。现在我不知道你这个电学模型到底是怎么建立的，有没有考虑各种效应。
个人觉得反馈回来的电压信号应该在转换成力，最终转换成加速度信号。

staric · 发表于 2012-9-19 21:56:54

寄生参数怎么考虑？

dyz123 · 发表于 2012-9-20 21:43:49

回复 2# NoTCsmile

good good

dyz123 · 发表于 2012-9-20 21:49:16

good very

st863 · 发表于 2012-10-25 14:07:50

把反馈电压折换成静电力，然后再折换成加速度，就可以叠加了，然后就能看到位移的变化

pqzhu88 · 发表于 2013-10-15 01:50:09

学习学习，长长见识，谢谢了

Luxuchang · 发表于 2015-3-9 09:36:09

飞机哥。。。

buildgates · 发表于 2015-3-10 15:13:21

长长见识

[讨论] MEMS电容加速度计的电学模型

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