system and circuit design for a capacitive MEMS Gyroscope（陀螺仪）

abab1394 · 发表于 2011-2-3 08:38:13

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Description: This 279 page PhD Thesis from the Helsinki University of Technology discusses 1 and 2 degree of freedom resonators, the Coriolis Effect, mechanical-thermal noise, and bulk and surface micromachining. It reviews a number of published microgyroscopes, discusses synchronous demodulation, resonator excitation, capacitive readout and more.
Author(s): Saukoski, Mikko
License: Unknown
Type: Thesis
Format: PDF
Price: Free
Keywords: sensors , MEMS , angular rate sensor , gyro , Coriolis Effect , bulk micromachining , surface micromachining
Submitter: EE HomePage Editorial Staff
Affiliation: None
xml_ID: 1218426001 (single entry page)

system and circuit design for a capacitive MEMS Gyroscope.pdf (2.56 MB, 下载次数: 721 )

aimar327 · 发表于 2011-2-3 10:37:51

这个是什么领域的书呀？

abab1394 · 发表于 2011-2-3 11:05:14

IC电路设计。cmos 陀螺仪。现在消费电子内应用很火的，重力感应。

hezudao · 发表于 2011-2-3 20:36:12

ding kan kan

bing131 · 发表于 2011-2-3 23:16:21

这是讲电路设计的吗

wangjin0215 · 发表于 2011-2-3 23:21:12

kankan

kdavid94588 · 发表于 2011-2-4 01:29:11

Thanks

wchpfish · 发表于 2011-2-6 22:24:47

這東西算是現在的新科技
要是能量產
又是一個新的趨勢

audiopa · 发表于 2011-2-8 19:05:31

看看再说！

staric · 发表于 2011-2-8 23:37:10

有没有讲到如何仿真呀？

[资料] system and circuit design for a capacitive MEMS Gyroscope（陀螺仪）

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